ガラス基板上にCG Silicon TFTを用いて,世界で初めてCPUを製作し,動作を確認することができた。ガラス基板にはコーニング1737ガラス(転移温度640℃)を用い,全て550℃以下のプロセスで試作を行った。CPUとして8ビット・プロセッサを搭載し,ゲート長2μmのルールで試作した。電源電圧5V,動作周波数3MHzでの動作を確認することができた。

 For the first time, an entire CPU has been successfully fabricated on a glass substrate suitable for LCD mass production. By using the advanced CG-Silicon Thin Film Transistor (TFT) process, with a maximum processing temperature 550℃, it was possible to use Corning 1737 glass as the substrate. The fabricated 8-bit CPU contains approximately 13,000 TFTs, and occupies an area of 169 mm2. The CPU operates successfully in a system with a clock frequency of 3 MHz and a supply voltage of 5V.



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