本稿は TFT-LCD（薄膜トランジスタ方式液晶ディスプレイ）のうち，低温ポリ Si TFT-LCD (LPS (Low Temperature Poly Silicon) TFT-LCD)に関して技術解説を行う。
まず低温ポリ Si TFT-LCD の概要と現状を述べた後，TFT の代表的な構造について説明もする。次に低温ポリ Si TFT のプロセスについて述べる。そして，最後にポリ Si TFT におけるアプリケーションについて言及する。
This paper presents the progress of Low-Temperature Poly Silicon (LPS) TFT technology.
At first, outline of Low temperature Poly Si TFT-LCDs are described, and then Poly Silicon TFT structure and process are explained.
We also disscuss the application of LPS TFT-LCD.
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