独自のショートパルスVHFプラズマCVD法により，メーター角サイズの大面積・高品質結晶薄膜成膜技術を確立し，光電変換効率（安定化効率）が約11％の薄膜シリコンセルが得られていることを報告すると共に，この高効率セル技術を用いたスーパーシースルーセル，モジュールについて紹介する。

　Short Pulsed VHF Plasma CVD method was established for a growth of crystalline thin film silicon with high quality on a square meter size substrate. And a prototype large scale thin film solar module achieved a stabilized conversion efficiency of about 11%.
A new application of the technology to super see-through cells and modules is also presented.