プラスチック基板上に能動素子である薄膜二端子素子を搭載したプラスチックDMTN-LCDを開発した。作製プロセス温度は最高150℃であり,ガラス基板を用いて作製したDMTN-LCDとほぼ同等の素子特性・表示特性が得られることが判った。本プロセスは,従来のガラスDMTNにも適用可能であり,プロセス温度の低温化により,製造プロセス全体としての低消費エネルギー化が期待される。

 We have developed a liquid crystal display driven by MIM elements on a plastic substrate. The highest temperature of the whole process was kept under 150 degrees C. The performance of display and DM element was similar to those on glass substrate. This process can be applicable to the conventional DMTN-LCD on glass substrate, and thus we can expect an energy-saving manufacturing process.




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